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薄膜
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権藤 靖夫/責任編集 -- 共立出版 -- 1992.9 -- 549
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本館
書庫2上
Map
B/549/ジツ/609113
1106091132
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
薄膜
叢書名
実験物理学講座
著者
権藤 靖夫
/責任編集
出版地
東京
出版者
共立出版
出版年
1992.9
ページ数
418p
大きさ
22cm
一般件名
薄膜
内容紹介
現在の急速なエレクトロニクスの進歩を支えている薄膜製作技術と薄膜の各種物性について、薄膜製作条件と関連させ、体系的にまとめると共に各項目ごとに解説を加える。
ISBN
4-320-03063-X
分類番号
549
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関連メディア
/T170P55044
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