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半導体製造装置用語辞典 利用可

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.9 -- 549.8

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1991.9
ページ数 419p
大きさ 22cm
版表示 第2版
一般件名 半導体-辞典
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
ISBN 4-526-02987-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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