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    関川千尋
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イオンビームによる薄膜設計 利用可

山田 公／著 -- 共立出版 -- 1991.9 -- 549.8

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本館 書庫１上 Map B/431.86/ﾔﾏ/579206 1105792062 閲可 貸可 協可 －

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タイトル イオンビームによる薄膜設計
叢書名 表面・薄膜分子設計シリーズ
著者 山田 公 ／著  
出版地 東京
出版者 共立出版
出版年 1991.9
ページ数 114p
大きさ 19cm
一般件名 薄膜
内容紹介 第1章.薄膜の形成 第2章.イオンビームの作用 第3章.種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法 第4章.プラズマ中での薄膜形成法 第5章.真空中での薄膜形成法
ISBN 4-320-08515-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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