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シリコン系ヘテロデバイス
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古川 静二郎/編著 -- 丸善 -- 1991.7 -- 549.8
SDI
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本館
書庫2上
Map
B/549.8/フル/576316
1105763169
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
シリコン系ヘテロデバイス
著者
古川 静二郎
/編著,
雨宮 好仁
/編著
出版地
東京
出版者
丸善
出版年
1991.7
ページ数
311p
大きさ
22cm
一般件名
半導体
内容紹介
近年の半導体デバイス・集積回路のめざましい進歩は、シリコンに負うところが非常に大きくなっている。本書は、ヘテロ構造によるSi系デバイスの高性能化を目標に、そのための基礎理論からヘテロ材料、最新のデバイス特性にいたるまでを詳述する。
ISBN
4-621-03611-4
分類番号
549.8
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関連メディア
/T170P55044
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