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超LSIレジストの分子設計 利用可

津田 穣／著 -- 共立出版 -- 1990.4 -- 549.7

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.7/ﾂﾀﾞ/540941 1105409417 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 超LSIレジストの分子設計
叢書名 表面・薄膜分子設計シリーズ
著者 津田 穣 ／著  
出版地 東京
出版者 共立出版
出版年 1990.4
ページ数 117p
大きさ 19cm
一般件名 集積回路 , 工業材料 , 薄膜
ISBN 4-320-08511-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.7

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