和佐 清孝/著 -- 共立出版 -- 1988.6 -- 431.86

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本館 書庫2上 Map B/549/ワサ/438172 1104381723 閲可 貸可 協可

資料詳細

タイトル スパッタ技術
著者 和佐 清孝 /著, 早川 茂 /著  
出版地 東京
出版者 共立出版
出版年 1988.6
ページ数 227p
大きさ 22cm
一般件名 薄膜
ISBN 4-320-08477-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 431.86