ジークフリート・シラー/著 -- アグネ -- 1985 -- 549

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資料詳細

タイトル 真空蒸着
著者 ジークフリート・シラー /著, ウルリッヒ・ハイジッヒ /著, 日本真空技術株式会社 /訳  
出版地 東京
出版者 アグネ
出版年 1985
ページ数 144p
大きさ 22cm
翻訳原書名注記 原タイトル:Bedampfungs‐technik
一般件名 薄膜
ISBN 4-7507-0409-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549