小林 春洋/[ほか]著 -- 日刊工業新聞社 -- 1984.7 -- 549

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本館 書庫2下 Map B/549/コ14/ 1101218195 閲可 貸可 協可

資料詳細

タイトル ドライプロセス応用技術
副書名 超微細素子の製法
著者 小林 春洋 /[ほか]著  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1984.7
ページ数 199,6p
大きさ 22cm
一般注記 引用文献:各章末
一般件名 電子材料
ISBN 4-526-01744-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549